晶圆级电性参数测试设备
为研发、量产和可靠性测试提供高效和精确的电性参数测试
晶圆级电性参数测试设备
在集成电路的产品开发、工艺制造和产品验证过程中，对电性参数测试的需求日益提高， Semitronix 海洋之神590线路检测中心(中国区)官方网站-安全入口经过十余年，自主研发高效电性参数测试设备和解决方案，已成功进入多家内外领先的芯片设计类（Fabless）海洋之神590线路检测中心(中国区)官方网站-、代工制造类 (Foundry）海洋之神590线路检测中心(中国区)官方网站-、垂直整合制造类（IDM）海洋之神590线路检测中心(中国区)官方网站-和研发实验室（R&D Lab），协助完成多种测试任务,并且高效、精确地提取器件和工艺相关的电性参数，实现以数据驱动芯片产品的功耗-性能-面积-成本(PPAC) 优化、可靠性以及成品率提升。
目前，Semitronix海洋之神590线路检测中心(中国区)官方网站-安全入口现有的测试应用场景包括：高并行 R&D测试、高效WAT 量产测试，以及可靠性 WLR 测试，在未来将逐步增加测试设备种类，拓展到其他测试应用场景。
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技术优势
设备测试性能
● 电流：测试精度0.1pA以下，最小分辨率0.1fA，最大范围1A
● 电压：测试精度0.1mV以下，最小分辨率0.1 µV，最大范围200V
● 电容：测试精度0.01pF，最大范围100nF, 支持C-V扫描
● 高效的测试产能（Throughput）: 1.4X-5X
● 支持超并行测试能力，提高测试效率
● 电压：测试精度0.1mV以下，最小分辨率0.1 µV，最大范围200V
● 电容：测试精度0.01pF，最大范围100nF, 支持C-V扫描
● 高效的测试产能（Throughput）: 1.4X-5X
● 支持超并行测试能力，提高测试效率
测试软件
● Algorithm Builder: 基于TCL语言的算法编辑
● Test Plan Editor: 根据测试需求,简便地做出test plan
● Framework: 强大的测试结果预警和处理机制
● Low Yield Management System 良率管理系统（LYM）
● 支持可靠性Wafer Level Reliability (WLR) 测试，扩展测试机通用性
● Test Plan Editor: 根据测试需求,简便地做出test plan
● Framework: 强大的测试结果预警和处理机制
● Low Yield Management System 良率管理系统（LYM）
● 支持可靠性Wafer Level Reliability (WLR) 测试，扩展测试机通用性
工厂自动化
● 支持与各类Prober(TEL/TSK/Sidea/Semishare…)集成
● 符合SEMI标准，实现EAP GEM 300标准自动化测试流程
● 支持E5 E30 E37 E39 E40 E87 E90 E94 E84 等协议
● 符合SEMI标准，实现EAP GEM 300标准自动化测试流程
● 支持E5 E30 E37 E39 E40 E87 E90 E94 E84 等协议
主要特点
- 为客户在程序控制过程中提供准确且高度自动化的测试解决方案
- 提供两种操作方式：在线测试、离线测试
- 根据前期测试结果能够让工程师灵活地改变测试计划的细节
- 方便地控制晶圆探针台并制定测试框架的执行流程
- 涵盖所有WAT测量项目：MOSFETs (Id, Vt, Ioff…), BJT, diode (breakdown), resistors, capacitors, etc.
- 自主研发高性能硬件配置方案和电路结构设计，快速的并行测试技术平衡优化了测试速度及精度，连续采样率高达1.8M samples / 秒
基本配置
