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晶圆级WAT测试设备
晶圆级电学参数测试设备，为客户提供准确且高度自动化的测试解决方案，用于高效监控工艺

简介

在集成电路制造过程中，通过WAT测试(晶圆允收测试)提取工艺和器件性能的信息用于指导芯片产品的过程研发和生产控制。随着制造工艺越来越复杂，WAT测试也变得越来越重要。

海洋之神590线路检测中心(中国区)官方网站-安全入口WAT测试机是一款功能强大的快速电学参数测试机，为客户提供准确且高度自动化的测试解决方案用于快速和更好地监控工艺。测试机让工程师在半导体晶圆制造工艺的测量中显著地节省时间，特别在与海洋之神590线路检测中心(中国区)官方网站-安全入口的可寻址测试芯片解决方案结合使用后，其测试效率更高。海洋之神590线路检测中心(中国区)官方网站-安全入口WAT测试机已经应用于多家领先的晶圆厂的量产产线和研发实验室。

  • 产线充分验证：覆盖20+量产线，量产跑货超200万片
  • 涵盖主流工艺：MCU / BCD / PMIC / Flash / CIS / Logic / MEM / III-V
  • 运行稳定：Uptime>97%
  • 市占率高：成为多个头部12寸厂baseline机台

设备优势

涵盖所有WAT测量项目
涵盖所有WAT和WLR测量项目
测试效率高
WAT速度提升1.4-5X;
Addressable速度提升3X-10X以上；
DenseArray速度提升1000X以上
自动化测试
支持EAP系统，兼容行业内各品牌常见型号的探针台，支持online/offline测试两种模式
支持可选配置
可根据客户需求，自由选择测试pin数和配置测试单元数

软硬件协同，高效测试，带来更高的Throughput

硬件：
测试系统基于PXIe构架，响应时间极快
SMU连续采样率可达到1.8M samples/秒
Relay开关切换时间 <2ms
测试系统性能优异，settling time短 
并行测试：
开关切换/施加信号/信号量测都可实现并行
软件：
内置丰富算法库
软件可灵活定制 
支持 EAP GEM 300 标准的自动化测试流程
支持Windows、Linux系统，提供Tcl、C++多种算法编写语言方案

基本配置

WAT Tester T4000 (24/48 pin)* T4100S (25/48 pin)*
Standard Resources HR_SMU+HS_SMU (4~18) Group SMU (25/48)
Pulse generator (2) Pulse generator (2)
Signal analyzer (2) Signal analyzer (2)
Switch matrix HSPU (hybrid signal processing unit)
LCR Meter (1) LCR Meter (1)
Number of measurement pins 24/48 25/48
Voltage Coverage ±200 V ±200 V
Current Coverage ±1 A ±1 A
Voltage measure sensitivity 100 nV 100 nV
Current measure sensitivity 10 fA or 0.1fA# 10 fA or 0.1fA#
Voltage measure accuracy 100uV 100uV
Current measurement accuracy sub-pA sub-pA
Maximum SMU sample rate 1.8M samples/sec 1.8M samples/sec
Capacitance measurement accuracy 10 fF 10 fF
RO Frequency Coverage ~ 20MHZ ~ 20MHZ
Measurement Functions DC Current / DC Voltage / Kelvin / Capacitance / Inductance
AC Current / AC Voltage / Differential Voltage / Frequency
Arbitrary Waveform / Clock Generation /
Synchronization (triggering mode)# / C-V scan
Typical Supported Test Items ID/VT/VTGM/IOFF/ISUB/BV/CAP/ICP
BETA/VBE/BVCEO/BVCBO/BVEBO
R2/RKLV/LK/CAP_METAL
IREAD/ISTANDBY/IDDQ/WM/SNM
ERASE/PROGRAM
IDDA/IDDQ/FREQ
IV/CV
Mean time between failures (MTBF) ≥ 4000 hours ≥ 4000 hours
Mean time to repair (MTTR) ≤ 6 hours ≤ 6 hours
Uptime rate ~ 97% ~ 97%

 

# Can select based on user needs
* Both T4000 and T4100S can support WLR test if upgrading software
This table shows recommend testers at different application, if you have other requirements, please contact us.

测试软件

测试设备内置测试软件，界面友好且功能灵活，包括Algorithm builder, Testplan Builder and FrameWork，可在定制的 Windows 系统或 Linux 系统下运行。
使用界面友好
Algorithm使用 TCL/C++ 语言
支持导入/导出 excel/txt 格式的规范文件
测试项自动分组
自动对初始化条件相同的测试项目进行分组以提升测试速度
自动化
与Fab的 EAP 系统自动运行集成
可定制数据格式（.lot、.csv、.ad5 等）
其他强大功能
通过虚拟硬件环境在 PC 上进行验证
调试模式使Algo调试更简单、更高效
直接导入Baseline Testplan
实时显示
处理早期报警和低产量问题
自动重新测试可能存在探测问题的失败测试项目
试用
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